Projet de comité
ISO/CD 19383
Titre manque
Numéro de référence
ISO/CD 19383
Edition 1
Projet de comité
ISO/CD 19383
89126
Examen du projet par le comité en cours.

Résumé

This document describes the chemical characteristics and related process specifications of the atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity, and anion content specification.

Informations générales

  •  : Projet
    : Mise en consultation du CD [30.20]
  •  : 1
  • ISO/TC 107
  • RSS mises à jour

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