Тезис
This document establishes appropriate testing processes to determine the cleanliness of surfaces in cleanrooms with regard to the presence of chemical compounds or elements (including molecules, ions, atoms and particles). This document is applicable to all solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environments such as walls, ceilings, floors, worksurfaces, tools, equipment and devices.
NOTE 1 For the purpose of this document, consideration is only given to the chemical characteristics of a particle. The physical properties of the particle are not considered and this document does not cover the interaction between the contamination and the surface.
NOTE 2 This document does not include the contamination generation process or any time-dependent influences (e.g. deposition, sedimentation, ageing) or process-dependent activities such as transportation and handling. Neither does it include guidance on statistical quality-control techniques to ensure compliance.
Preview
Общая информация
-
Текущий статус: ОпубликованоДата публикации: 2022-05Этап: Опубликование международного стандарта [60.60]
-
Версия: 2
-
Технический комитет :ISO/TC 209ICS :13.040.35
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Ранее
ОтозваноISO 14644-10:2013
-
Сейчас
-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00
Появились вопросы?
Ознакомьтесь с FAQ
Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)