Numéro de référence
ISO/TR 15969:2001
© ISO 2024
Rapport technique
ISO/TR 15969:2001
Analyse chimique des surfaces — Profilage d'épaisseur — Mesurage de l'épaisseur bombardée
Edition 1
2001-06
Annulée
Annulée (Edition 1, 2001)

Résumé

This Technical Report gives guidelines for measuring the sputtered depth in sputtered depth profiling. The methods

of sputtered depth measurement described in this Technical Report are applicable to techniques of surface

chemical analysis when used in combination with ion bombardment for the removal of a part of a solid sample to a

typical sputtered depth of up to severalmicrometres.

Informations générales

  • État actuel
     : Annulée
    Date de publication
     : 2001-06
    Stade
    : Annulation de la Norme internationale [95.99]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 4
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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