International Standard
ISO 19606:2024
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for surface roughness of fine ceramic films by atomic force microscopy
Reference number
ISO 19606:2024
Edition 2
2024-11
© ISO 2025
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Indisponible en français
Publiée (Edition 2, 2024)

ISO 19606:2024

Langue
Format
CHF 132
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Résumé

This document specifies a method to evaluate the adequateness of a probe tip for fine-ceramic thin-film surface roughness measurements by atomic force microscopy. This method applies to surfaces with an arithmetical mean roughness, Ra, in the range of about 1 nm to 30 nm and a mean width of roughness profile elements, Rsm, in the range of about 0,04 μm to 2,5 μm.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2024-11
    Stade
    : Norme internationale publiée [60.60]
  • Edition
     : 2
  • Comité technique :
    ISO/TC 206
    ICS :
    81.060.30 
  • RSS mises à jour

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